设计了一种静电力反馈控制的三明治式微机械干涉加速度计,加速度计由敏感芯片、半导体激光器、光电二极管以及相应的驱动电路和反馈控制电路组成.敏感芯片为玻璃-硅-玻璃3层结构,通过硅-玻璃键合体硅工艺制成.硅质量块由铝梁支撑,底部玻璃基片上有金属光栅和电极,通过在质量块和底部玻璃基片上的电极之间施加电压可以调节质量块与玻璃基片间的间隙.入射激光照射到敏感芯片上的光栅上,产生衍射光束,其光强随质量块与下玻璃的间距而变化.反馈控制电路通过测量衍射光强的变化来改变质量块与底电极之间的电压,使得质量块与底部玻璃基片的距离保持为入射光波长1/8的奇数倍,从而提高输出线性度,改善灵敏度,增大量程.

介绍了一种新型集成光栅干涉微位移测量方法，设计加工了微位移敏感芯片，并进行了初步的性能测试．敏感芯片利用硅-玻璃键合体硅工艺制作而成，在玻璃上制有金属光栅，光栅上方有由铝梁支撑的可动结构．实验系统由敏感芯片、半导体激光器、光电二极管以及相应的驱动、检测电路组成入射激光照射到光栅上产生衍射光斑，衍射光的光强随可动结构与光栅之间的距离变化，通过测量衍射光强的变化可以得到位移．测试实验结果表明，所制作的集成光栅干涉微位移敏感芯片可实现位移检测，最小可检测的位移约0．2nm．

姿态测量是飞行器实现自主导航的前提条件。针对单轴红外地平仪在飞行器姿态绝对测量中存在盲区的问题，提出了利用两轴红外地平仪进行全范围角度测量方案。在待测姿态角平面内，将地平仪两轴垂直放置，通过判断转动过程中两组传感器所在的象限位置，利用两轴必有一轴工作在非盲区的特点，合理选取输出量进行转角解算。解算结果和实验设定转角进行比较，二者静态偏差小于r，能实现360°全范围角度测量。两轴红外地平仪全范围角度测量克服了单轴红外地平仪角度测量范围的局限性，对飞行控制中姿态角反馈具有重要意义。

采用降阶建模法对多晶硅/氮化硅复合悬臂梁静电致动器的多物理场耦合问题进行了仿真计算.悬臂梁在氮化硅残余应力的作用下弯曲翘起.在微梁和基底间施加电压后,微梁受到向下电场力的作用,当电压超过阈值后微梁就会被吸到基底上.通过提取系统的各阶模态及其对系统的贡献,对各阶模态进行组合来取代该结构的耦合域,从而达到对耦合问题降阶的目的.采用该方法算得微梁的翘起高度、1阶固有频率和吸下的阈值电压与实验测得的结果吻合较好.

作为一种重要的非注射给药途径,雾化吸入治疗方法具有起效快,药物毒、副作用小等特点,因此被越来越广泛地采用。基于压电驱动喷墨打印机工作基本原理,利用微机械加工技术,研制了一种压电驱动微喷雾化器。流量、雾粒的直径和速度是微喷雾化器的重要指标,文中采用相关的仪器分别对这些指标进行了测试。由测试结果可知,微喷雾化器产生的雾粒的直径和速度分布集中,且雾粒直径和速度比较适合于雾化吸入治疗,可能成为一种重要的雾化吸入治疗装置。

微流体实验技术的研究是微流体器件发展的迫切需要,它不仅可以提供测量微流体器件性能必备的工具,而且对于探索微观尺度流体的传输机制具有极为重要的意义.文章对微流体实验技术的难点进行了概括,并对几种主要的微流体实验技术进行了讨论,指出流动显示技术由于对流动本身的干扰非常小,而且在一些研究人员的努力下精度得到不断提高,已经成为一种最有潜力的微流体实验技术.