研制了一种以自由端带有集中质量的悬臂式压电双晶片为驱动单元、具有移动和旋转二自由度的惯性冲击式精密驱动器。对压电双晶片的动态特性进行了有限元法分析和实验测试，提出了定频调压的控制方法，并对该精密驱动器进行了移动和旋转性能测试。测试结果表明：该驱动器具有结构简单、行程大、驱动力强、分辨率高等特点，而且其成本低于传统惯性冲击式驱动器的百分之一。