在实际的加工作业中,超精密机械滑台具备较高的精度以及直线度,这种特征使得超精密机械滑台具备较高的装配要求。基于此,笔者对超精密机械滑台的装配和测量进行了分析,工作人员需要应用马尔测微仪实现机械滑台导轨直线度的测量,选择基座的主导轨,按照自为基准原则进行机械滑台的装配,并对装配完成的机械滑台进行平面度、定位精度以及重复精度的测量,确保机械滑台的各项参数符合其使用要求。