为了探索气动柔性机械手电磁阀的控制特性，分析了电磁阀的电、磁、机械及气体流模型并推导出四者之间的耦合模型。通过matlab／simulink软件对该耦合模型进行联合仿真分析，得出了电磁阀通电时间和流通气量之间的关系以及电磁气隙和电磁阀两端压差对流通气量的影响。最后，该文建立了相应的实验验证系统，获得了与仿真分析相同的结论，验证了模型的正确性。

为满足大行程、高输出力精密驱动与控制的需求,提出一种压电叠堆隔膜泵驱动的压电液压马达,建立了理论模型并进行了仿真分析.给出了刚度匹配时最佳面积比及最佳负载的确定方法.设计制作了试验样机,测试了半径比对其性能的影响规律.在工作频率为280 Hz时,半径比为0.8马达的输出功率是半径比为0.53马达输出功率的4.43倍,这说明选取合理的结构参数可有效地提高马达性能.理论分析结果表明,负载一定时,存在最佳的结构参数（刚性顶块与泵腔的半径比、泵腔与液压缸面积比）使马达速度及功率最大、最佳面积比随半径比增加而减小.结构参数一定时,速度随负载增加而降低、存在最佳负载使输出功率最大,且最佳负载随面积比及半径比增加而降低.