研究了基于原子力显微镜（AFM）的微桥机械特性的测量方法。通过微机电系统（MEMS）技术制备了可用静电力驱动进行机械振动的金属微桥。利用一套改进的商用AFM实验装置对测量方法进行了优化，并对微桥的共振频率进行了测量，所得实验结果与理论估算和仿真计算的结果基本一致。基于AFM的微桥机械特性的测量具有精度高和容易实现的特点，可作为测量平台扩展用于薄膜材料或微量液体的内耗、粘弹等性质的表征。