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使用Fluke2635T校准仪自校EM电炉温度的新方法

作者: 马瑾怡 王邕保 张荣哲 陈祯祥 简维廷 来源:上海计量测试 日期: 2022-07-17 人气:2
使用Fluke2635T校准仪自校EM电炉温度的新方法
电迁移(Electro-migration, EM)是半导体元件可靠性检验的一项重要测试。在EM测试时,一般要使用电炉加温,以取得强化压迫(Highly Stressed)测试条件下的温度读数(150℃-350℃)和电流量的常数(
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