提出一种可用于评价任意面型微光学元件制作误差的方法.利用泽尼克多项式描述微光学元件面型,针对元件检测过程中的旋转对准偏差,给出泽尼克系数随旋转角度的变化关系;以设计面型和实测面型之间的均方根偏差(RMS)为加工误差的评价指标,根据其相对于旋转角度的依赖曲线,最小的RMS即是加工误差.数值模拟结果表明,该方法可以将旋转对准偏差矫正,从而有效地评价了制作误差.该方法可应用于任意面型微光学元件的研制.

风载引起的主镜变形是大口径望远镜必须考虑的问题。针对类似于Subaru望远镜的薄镜面能动光学系统,采用固定点力反馈控制方法对风载进行校正,本文引入了压强模式的概念,提取出风载产生的镜面变形的大部分信息,并据此对固定点力反馈控制方法进行了研究,得到如下结论：风载产生的镜面变形主要是平移、倾斜、像散和离焦等低阶像差;相同系数的情况下,平移和倾斜压强模式可以产生更大的镜面变形,对固定支撑点产生更大的力;基于压强模式的固定点力反馈控制方法对风载有较好的校正效果。

采用模式控制对能动光学系统的有效运行是十分重要的。针对1.2m能动镜,对常见的泽尼克模式、主镜的自由振荡模式和本征模式进行了分析,其中本征模借鉴于薄膜反射镜的模式分析,但尚未见到用于能动主镜的模式控制,从能动镜对各模式的拟合精度以及选用的模式数量与能动镜系统的校正能力的关系考虑,选择离焦、三阶彗差和9阶本征模作为1.2m能动光学系统的校正模式,其中离焦和三阶彗差由次镜的平移和倾斜进行校正,9阶本征模由主镜背面的力驱动器阵列进行校正。