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双折射晶体厚度干涉测量技术的研究
作者:
唐朝伟
邵艳清
何国田
张鹏
张旭详
赵丽娟
傅明怡
来源:
激光技术
日期: 2022-09-05
人气:4
为了能精确测量出晶体厚度,利用晶体的双折射特性,采用剪切干涉法来测量双折射晶体的厚度,从理论上推导出其实现的可行性,并结合实验验证了测量系统的具体实现过程及计算厚度的算法。结果表明,该方法可用来测量厚度为厘米量级的双折射晶体的厚度,测量的均方根误差小于20nm。
关键词:
测量与计量
晶体厚度测量
双折射特性
干涉技术
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