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双折射晶体厚度干涉测量技术的研究

作者: 唐朝伟 邵艳清 何国田 张鹏 张旭详 赵丽娟 傅明怡 来源:激光技术 日期: 2022-09-05 人气:4
双折射晶体厚度干涉测量技术的研究
为了能精确测量出晶体厚度,利用晶体的双折射特性,采用剪切干涉法来测量双折射晶体的厚度,从理论上推导出其实现的可行性,并结合实验验证了测量系统的具体实现过程及计算厚度的算法。结果表明,该方法可用来测量厚度为厘米量级的双折射晶体的厚度,测量的均方根误差小于20nm。
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