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双波长激光量块干涉仪研制

作者: 蒋秀兰 祝逸庆 马建敏 傅云霞 蔡明钢 葛爱明 王青 陈磊 来源:上海计量测试 日期: 2022-07-13 人气:2
双波长激光量块干涉仪研制
本文介绍了双波长激光量块干涉仪的工作原理,详细描述了仪器的光学、机械设计以及干涉图象处理和量块中心长度自动判读技术.该干涉仪满足1等量块的测量不确定度要求,目前已用于高等级量块的自动化测量.
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