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> 蔡明钢
双波长激光量块干涉仪研制
作者:
蒋秀兰
祝逸庆
马建敏
傅云霞
蔡明钢
葛爱明
王青
陈磊
来源:
上海计量测试
日期: 2022-07-13
人气:2
本文介绍了双波长激光量块干涉仪的工作原理,详细描述了仪器的光学、机械设计以及干涉图象处理和量块中心长度自动判读技术.该干涉仪满足1等量块的测量不确定度要求,目前已用于高等级量块的自动化测量.
关键词:
量块
干涉图象处理
小数重合法测量原理
自动化测量
双波长激光量块干涉仪
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