为实现平晶平面度的快速测量，运用机器视觉技术对等倾干涉仪进行改造。计算机对CCD采集的干涉图进行实时处理，再利用所有像素样本点（约4000个）的最小二乘法同时拟合出多条干涉环直径并计算标准干涉环直径玩。对平晶表面不同的检定点，测量软件均能根据其实测玩值计算平面度。改造后的干涉仪不但显著提高了工作效率，且大大降低了劳动强度。

针对目前标准钢卷尺、铟瓦水准标尺、数字水准仪条码尺测量过程中遇到的问题,基于激光干涉测长和图像处理技术对线纹间隔进行测量的原理,研制开发出了多功能线纹尺自动测量装置。探讨了数字水准仪条码尺的解码机理,分析了条码尺的编码图,对各公司生产的条码尺给出了校准方法,评估了整套装置的测量不确定度。实践证明,该装置能对多种高准确度的线纹计量器具进行有效检测。