线性光学系统的光学传递函数可由线扩散函数的傅里叶变换求出。研究了用电荷耦合器件测量亚微米投影光刻物镜的ＭＴＦ值的系统，用ＣＣＤ作为光电转换器件，对ＣＣＤ接收到的ＬＦＳ的光强信号进行视频放大，采样，用数字存储示波器可方便地测得系统的ＭＴＦ值。