建立动、静平台和伸缩杆实际误差模型的基础上,采用过约束参数识别方法,分析了高强度聚焦超声治疗机5自由度串并联机构的实际定位精度,并以3-RPS机构平台为例,进行了误差参数识别和定位精度分析,以调整控制器中的模型参数,可实现较高的定位精度,满足高强度聚焦超声治疗的要求.仿真研究表明在实际测量中约50个测试点即可满足设计要求,最大焦点总误差不超过0.5 mm,测量数据误差不超过0.2 mm,甚至可控制为0.05 mm.该串并联机构参数识别不需要额外的姿态传感器,就能够方便地在实际工作环境中在线应用.