为改变当前三坐标测量机CNC控制系统核心技术被国外垄断的现状，设计了一种由DSP与FPGA构成的三坐标测量机CNC位置控制单元。该系统以TMS320F2812为主处理器，XC3S400PQ208为协处理器，处理器之间通过外部存储总线进行接口，并使用速度前瞻控制算法对系统控制进行优化，最后与工业测量软件RATIONAL DMIS连接验证系统正确性。实践表明本系统结构简单、可靠、测量速度迅速，可以直接作为CNC控制器配备在测头触发式三坐标测量机上。