使用三坐标测量机过程中经常会遇到一些问题影响测量精度，如由于测头配置不合理导致测量误差偏大，小圆弧短直线的测量结果明显偏离实际值，或因同轴度测量误差较大，导致合格品误检为不合格品，有时则因深孔圆柱度测量结果较实际值偏小，使不合格品误检为合格品，在对上述问题的成因进行深入分析的基础上，提出了具体可行的解决方案，为合理使用三坐标测量机奠定了基础。