针对大长度范围直线度测量的要求，根据光学自准直原理研制出一台高精度直线度分析仪，其精度达到0．1″，而1，以内的示值误差小于0．5″。通过与ELCOMAT 3000型自准直仪的测角结果对比，两组检测数据非常接近，可知此分析仪能满足对应于直线度为0．5μm的测角参数。对此仪器在检测过程中可能出现的不确定度进行了定量分析，得到了实验过程中相应的整体标准不确定度为0．23″。