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开关电路在微机械加速度计中的应用

作者: 谭晓昀 熊俊 蓝幕杰 赵辉 刘楠 刘晓为 来源:传感器技术 日期: 2023-08-16 人气:4
开关电路在微机械加速度计中的应用
介绍了一种用于差分电容检测前置电路的开关电路,该电路使信号易于解调而能简化信号处理电路.阐述了电路的工作原理及相关特性,在250 kHz的载波频率下,给出了Hspice仿真结果及其具体在微机械加速度计中的应用.实际结果表明:样品的灵敏度为16~25 mV/gn,非线性为0.1 %~0.5 %,满足技术要求.
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