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双频激光干涉仪技术现状与发展

作者: 所睿 范志军 李岩 张书练 来源:激光与红外 日期: 2024-05-27 人气:14
双频激光干涉仪技术现状与发展
文章概述了国内外双频激光干涉仪产品的现状,介绍了近年来双频激光干涉仪向高分辨率、高精度、高测速等几个方向的发展趋势.
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