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> 所睿
双频激光干涉仪技术现状与发展
作者:
所睿
范志军
李岩
张书练
来源:
激光与红外
日期: 2024-05-27
人气:14
文章概述了国内外双频激光干涉仪产品的现状,介绍了近年来双频激光干涉仪向高分辨率、高精度、高测速等几个方向的发展趋势.
关键词:
双频激光干涉仪
外差干涉
分辨率
发展趋势
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