太赫兹（以下简称THz）波位于微波到红外光学的过渡区域，具有重要的学术价值，在民用和国防等领域有着广泛的应用。高速器件产生或传输的超快脉冲宽度已达皮秒量级，带宽已进入太赫兹频段。传统技术和方法无法解决此类器件的校准问题，而结合光电技术的时域电光取样（EOS）技术则为太赫兹脉冲计量提供了有效的手段，本文对此类新技术进行了全面的概述。

通过对网络分析仪单端口OSL校准方法的研究,分析了校准件的不完善———开路器、短路器校准位置的不明确及校准负载的不理想等对单端口校准结果的影响,并推导出校准件实际值和理想值的偏差与校准结果之间的数学关系,结合实验数据与仿真结果对算法加以验证。