受MEMS加工工艺等因素影响，振动环式微机械陀螺存在一定的不对称，引起检测端的同频干扰，导致检测信号的信噪比降低。通过对振动环式陀螺进行激励模态和检测模态的动力学分析，研究激励信号、干扰信号和Coriolis力之间相位关系，提出降低同频干扰的解决方法，以提高陀螺检测灵敏度。

利用微电子机械加工技术成功研制出电磁激励-电磁拾振硅谐振梁式压力传感器。传感器以“H”型双端固支梁为谐振器，采用差分检测结构。工艺制作采用体硅加工工艺，并且采用一种减小封装应力的结构完成压力传感器的真空密封及封装。利用锁相环微弱信号检测技术建立的开环频率特性测试系统及闭环自激测试系统测试了传感器的频率、压力特性等相关技术指标。谐振器在空气中的品质因素Q值大于1200；在真空中的Q值大于7000。压力满量程刻度为0～120kPa。差分输出的结果优于单个谐振梁的输出结果，差分输出结果的线性相关系数为0．9999，灵敏度为225．77Hz／kPa。

介绍了振动环式陀螺仪的基本工作原理，分析了传统的振动环式陀螺仪所存在的缺陷。并针对这些问题，设计和制作了一种单晶硅式振动环陀螺仪。该陀螺仪采用硅玻璃键合工艺制作，利用振动环作为敏感元件，选取静电激励、电容检测的工作方式。设计陀螺仪的工作频率高于15kHz，以降低了环境对陀螺仪性能的影响。陀螺仪的制作方法简单，只需要2块掩模板，便于批量化生产。