应用ANSYS软件对MEMS器件——八悬臂梁硅微加速度计的横向灵敏度进行了仿真。仿真时分别在此器件的X轴、Y轴、Z轴单独加一个加速度，分析另外两个轴的输出，便可以得出其横向灵敏度。依据仿真结果，可先求出各个输出轴对应的梁的应力，即可算出其电阻的变化量，从而计算出输出轴的输出电压。