设计了一种用于宏微双重驱动系统的二维微动工作台。该微动平台采用柔性铰链支撑的并联式设计结构，该结构比串联式结构更简单紧凑，其x方向和y方向完全对称，所以这两个方向的参数完全相同，便于参数识别与工作台控制；采用有限元方法对该工作台进行了静态分析，并与采用解析法计算的结果进行对比。推导出由于宏动工作台高加速运动而引起微动工作台振动的加速度公式，为研究宏动台高加速、高减速运动对微动工作台的影响提供了依据。最后，计算分析了宏动工作台典型运动情况对微动工作台的影响，分析表明选择合适的阻尼比ξ，可以获得较短的微动工作台系统的调整时间和较小的超调量。

根据IC制造、超精密加工等行业的需求,研发了能够用于超精密定位系统的两维大范围、宽平台精密定位系统。根据宽平台高速运动的要求,对大跨度平台的受力变形进行了理论分析,并对系统结构的静态和动态特性进行了有限元分析。在理论研究的基础上研发了精密定位系统。所开发的系统能够保证在设计载荷下,对于承载面积为250mm×250mm的承载台上任意一点都能够在300mm×300mm范围内任意点进行精密定位。