畸变特性是光刻物镜的关键指标,目前少有报道,提出了一种大视场投影光刻物镜畸变测量原理,测量系统和测量数据的处理方法.利用该装置对研制的口径6英寸,分辨率3 μm的物镜进行了测量,得出该物镜在全视场的畸变值小于2.0 μm.

采用传统的研磨抛光方法很难实现口径与厚度比很大的玻璃透镜的制造，下盘后机械应力变形是影响透镜精度的重要因素之一。而采用玻璃精密模压制造技术，无需透镜毛坯装夹固定机构，在加工过程中几乎不产生机械应力，因此是小口径薄型玻璃透镜的首选制造技术。成功制造了一种口径与中心厚度比为11的薄型透镜，面形精度的PV值和RMS值可分别达到0．41μm和0．08μm，重复精度的PV值优于0．1μm，测量结果表明：该模压透镜具有良好的面形精度，且批量制；龟的一致性很好．说明采用玻璃精密模压制造技术加工小口径薄型透镜是一种高效可靠的加工方法。

介绍不研磨超薄光学透镜加工用剥离机械手的组成、工作原理、有关结构参数及其电、气自动控制。