提出了一种利用静电力制动扭转梁带动微镜旋转，从而实现二维开关功能的MEMS光开关．使用ANSYS和COVENTOR软件对器件结构进行了模态、静态和瞬态分析，并对微镜制动梳齿的位置、器件的尺寸和扭转梁结构进行了优化．通过在微镜下方设计大空腔实现微镜90°的大角度扭转，使用新型衬底梳齿和结合扭转梁设计实现高静电制动效率，将制动电压降至18V．引入背面梳齿提高开关响应速度，模拟结果表明，光开关具有毫秒量级响应时间．与其他设计相比，该设计的微镜具有扭转角度大、制动效率高且开关速度较快的优点．

运用反应射频溅射的方法进行了TiN薄膜的制备，通过改变关键工艺参数，如氩气氮气比、气体压力等，研究工艺参数对TiN薄膜特性的影响．论文还研究了不同退火工艺条件对薄膜应力的影响，可以实现薄膜低温退火．论文还对TiN的刻蚀和抗腐蚀特性进行了研究，对比了多种湿法对TiN的刻蚀情况，得出常温下TiN具有良好的抗腐蚀特性，并得到干法和湿法刻蚀速率．为TiN材料的MEMS应用打下了基础．