通过分析可知，转镜的晃动不影响干涉图的调制度，但会带来干涉图周期的变化．通过研究晃动带来干涉图的周期变化，可找到晃动的容限，结果表明：转镜式干涉光谱仪对转镜的晃动不敏感，用同样的方法可以确定转镜转速误差的容限，转镜对转速稳定性有着较高的要求，转镜式干涉光谱仪中的反射镜不是动件，安装时的倾斜对干涉图的调制度和相位都有影响，通过计算，这种影响可得到反射镜的倾斜容限。结果表明，转镜式干涉光谱仪对反射镜的安装准确度有很高的要求。

针对第三代同步辐射装置光束线中的双晶单色器，分析了引起直接水冷却晶体面变形的原因，提出直接水冷却异型晶体结构，并用有限元方法进行数值模拟分析，得到晶体面形误差，并提出优化面形精度的方法。结果表明，在热负载、装夹力、真空负压和水流压力下，水冷却异型晶体在热源辐照区弧矢向和子午向平均面形误差RMS值分别达到1″和0．6″。