真空反应烧结大尺寸碳化硅反射镜
利用高温真空烧结炉对凝胶注模(Gel-casting)成型的SiC素坯进行反应烧结(RB-SiC),可制备得到光学级别的碳化硅反射镜镜体。测试结果表明,镜体内部结构均匀致密,机械性能优异,烧结线收缩率〈0.23%,直接抛光后的表面粗糙度RMS值优于3nm,适用于空间大尺寸碳化硅反射镜的制备。
轻型碳化硅质反射镜坯体的制造工艺
研究了轻型碳化硅质反射镜坯体制造技术,讨论了制备工艺中的关键环节。提出了一种先进的消失模技术用于制备性能更加优异的背部半封闭式轻量化结构。针对制备大尺寸复杂形状陶瓷的难点,研究了SiC陶瓷素坯凝胶注模成型及成型过程中高固相含量低黏度SiC浆料的配置、浆料固化时间控制及大尺寸复杂形状SiC湿坯的液体干燥工艺等。测试分析了坯体烧结过程中素坯的热失重与差热曲线,制定了最佳的烧结工艺。通过对以上关键技术的研究,制备得到了不同形状与轻量化结构形式的单块轻型SiC坯体,最大尺寸为1 100mm×820mm。
大尺寸轻型碳化硅质镜体的制造与材料性能测试
利用凝胶注模(gel—casting)成型工艺制备了中620mm和700mm×300mm的碳化硅(SiC)轻型反射镜素坯,经过脱模、干燥、脱脂和反应烧结等工艺,制备了反应烧结SiC(RB-SiC)镜体。镜体经过加工和测试,结果表明:制备的RB-SiC内部结构均匀致密;力学性能和热学性能优异,抗弯强度、断裂韧性和热膨胀系数分别达到了350MPa,4.1MPa·m1/2和2.67×10^-6/K;镜体经抛光后的表面粗糙度RMS值可优于3m,适合用于制备空间用大尺寸轻型反射镜。
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