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> 反应烧结
真空反应烧结大尺寸碳化硅反射镜
作者:
赵汝成
来源:
光机电信息
日期: 2023-06-15
人气:13
利用高温真空烧结炉对凝胶注模(Gel-casting)成型的SiC素坯进行反应烧结(RB-SiC),可制备得到光学级别的碳化硅反射镜镜体。测试结果表明,镜体内部结构均匀致密,机械性能优异,烧结线收缩率〈0.23%,直接抛光后的表面粗糙度RMS值优于3nm,适用于空间大尺寸碳化硅反射镜的制备。
关键词:
碳化硅
反应烧结
反射镜
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