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真空反应烧结大尺寸碳化硅反射镜

作者: 赵汝成 来源:光机电信息 日期: 2023-06-15 人气:13
真空反应烧结大尺寸碳化硅反射镜
利用高温真空烧结炉对凝胶注模(Gel-casting)成型的SiC素坯进行反应烧结(RB-SiC),可制备得到光学级别的碳化硅反射镜镜体。测试结果表明,镜体内部结构均匀致密,机械性能优异,烧结线收缩率〈0.23%,直接抛光后的表面粗糙度RMS值优于3nm,适用于空间大尺寸碳化硅反射镜的制备。
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