介绍了由浙江大学研制的CQG-II型车间数字干涉仪检测φ3.6 mm×0.5 mm平行平面玻璃的透过波面畸变的情况.最近研制出的干涉仪测量的最大口径为φ60 mm,采用移相式条纹扫描数字化处理,基于WINDOWS操作系统实现实时检测,以优于λ/30的精度计算出被检件的波面误差.工厂生产检测表明:在上述仪器上增加一个4倍口径的放大系统,可以使通光口径φ3.1 mm的工件达到4200个采样点,仪器的透射测量标准干涉腔误差PV≤0.028λ,仪器隔日多次测量重复性PV≤0.03λ.该仪器已经正常投入使用,生产的用于光学信息产品的微型光学件已为日本先锋公司(PIONEER)复检通过,成为工厂批量生产过程质量控制(QC)的重要手段.

提出了基于相干波面光强分布的静态干涉图数字处理的新方法,即在CQG-Ⅱ型激光数字波面干涉仪上通过分别微调参考镜和被测镜的倾斜量,在CCD探测器上获得形成静态干涉图的两幅相干波面光强分布图,利用这两幅光强分布图与它们所形成的干涉图,可高精度地完成静态干涉图的数字分析.利用相干原理,给出了实现该方法的基本过程,并编程实现了该数字分析,获得了实验测量结果.通过与相移测量结果相比较,验证该方法对口径为60mm的平面有望达到的测量精度.

为了适应超精密加工对加工精度的要求，将激光捕获技术引入到超精密加工领域，提出了“基于激光捕获原理的超精密加工技术”的概念，介绍了其工作原理，建立了其理论模型，并通过组建基于激光捕获原理的超精密加工系统进行纳米加工，证明将激光捕获技术应用在超精密加工中是可行的。基于激光捕获原理的超精密加工技术为超精密加工提供了一种全新的工具，必将发挥越来越大的作用。