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基于微压印成形的三维微电子机械系统制造新工艺

作者: 王权岱 段玉岗 丁玉成 卢秉恒 张亚军 来源:西安交通大学学报 日期: 2024-03-11 人气:78
基于微压印成形的三维微电子机械系统制造新工艺
针对目前微电子机械系统(MEMS)制造中存在的三维加工能力不足的问题,将压印光刻技术和分层制造原理相结合,研究了三维MEMS制造的新工艺.采用视频图像原理构建了多层压印的对正系统,对正精度达到2 μm.通过降低黏度和固化收缩率,兼顾弹性和固化速度,开发了适用于微压印工艺的高分辨率抗蚀剂材料,并进行了匀胶、压印和脱模工艺的优化实验.通过原子力显微镜对压印结果进行了分析,分析结果表明,图形从模具到抗蚀剂的转移误差小于8%,具有制作复杂微结构的能力,同时也为MEMS的制作提供了一种高效低成本的新方法.

激光快速成型光固化树脂的研究应用

作者: 王素琴 曹瑞军 段玉岗 来源:影像视觉 日期: 2024-02-02 人气:19
激光快速成型光固化树脂的研究应用
研究了活性单体,光引发剂对光固化树脂体系的粘度、固化速度以及固化收缩率等方面的影响。成功制备了适用于激光快速成型这一先进制造技术的丙烯酸类光固化树脂,其应用获得了满意的结果。

直升机复合材料油箱密封结构分析与试验研究

作者: 辛志博 朱彦松 段玉岗 王奔 黄志文 王宏晓 明越科 来源:复合材料科学与工程 日期: 2022-01-26 人气:147
直升机复合材料油箱密封结构分析与试验研究
复合材料作为新一代轻质、高强度材料,已经在航空航天制造行业中被大量应用。对于整体复合材料油箱的结构设计,其核心在于满足强度要求下的密封设计。本文首先根据气密性要求,采用ABAQUS有限元分析软件对整体复合材料应变分布进行分析,优化密封结构设计,然后根据设计要求制造复合材料油箱部件,最后对组装好的整体复合材料油箱进行验证。结果表明所设计的整体复合材料油箱能够完全满足气密性保压要求,同时也能够满足耐油性试验要求。

基于伪全息原理的立体影像展示机设计

作者: 桂亮 胡改玲 奚延辉 金悦 段玉岗 来源:实验室研究与探索 日期: 2021-04-30 人气:174
基于伪全息原理的立体影像展示机设计
基于伪全息原理设计并制作了一种立体影像展示机,可实现平面图像的立体展示效果。该展示机包括光学成像系统、机械运动系统和动力控制系统,具备成像、360°旋转、上下升降,以及收合等功能。该装置成像逼真、立体感强、原理及操作简单、成本低廉,可应用于需要展示立体模型的小班教学、产品发布与展示、会议报告及实验展示、博物馆等场合。
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