简述了TiAlSiN硬质涂层的制备方法,并对比了其优劣性。总结了国内外TiAlSiN硬质涂层的研究现状及进展,分析了TiAlSiN硬质涂层特点,论述了涂层技术未来的方向。

锆合金因其具有良好的耐蚀性能、力学性能及较低的原子热中子吸收截面，对核燃料有良好的相容性，因此被广泛应用于核反应堆的结构材料。但核电设备结构部件在运行过程中出现的高温微动磨损和氧化等均给核电设备带来了严重的安全隐患，对此，锆合金表面氮化与离子镀复合处理技术的研究对其在工程领域的运用具有重要意义。文中从锆合金表面的氮化与离子镀的原理出发,对其发展现状、存在的问题、性能测试的方法以及未来的发展趋势进行了综述讨论。

大约单层薄的非晶态氮化硅的组织,是在nc-（Al（1-x）Tix）N/a-Si3N4超硬纳米复合涂层沉积过程中形成的,具有良好的结构与硬度。在温度低于1100℃时,能有效地避免fcc-（Al（1-x）Tix）亚稳溶液的分解和软化,形成富钛fcc（Ti（1-δ）Alδ）N纤锌矿型h-（A l N）。如果没有氮化硅涂层,（Al（1-x）Tix）N的软化和分解将会发生在800-900℃之间。