表面形貌的参数评定算法的准确性直接影响其评定结果.对ISO25178-2中规定的幅度参数、空间参数和混合参数进行了算法实现,并利用美国国家标准化研究院（NIST）提供的标准数据,与NIST的标准软件进行了比对实验,实验结果表明了所开发区域法参数评定算法的准确性.

表面形貌的区域法评定与其二维轮廓评定相比,更能体现表面的真实情况。表面形貌的区域法滤波是对其进行区域法评定的基础。文中对最小二乘平面滤波、多项式曲面拟合滤波和三维高斯滤波3种典型的区域法表面滤波技术进行了算法实现,实测结果表明了所开发算法的准确性。