介电弹性体是具有大变形的智能材料,利用其特殊性能研制了介电弹性体双腔三振子无阀微泵,并用FLUENT软件进行三维仿真,得到了不同进口速度条件下的压力分布图、密度分布图、速度矢量图以及速度迹线图。由上述各图可得出以下结论：速度较大的流体对微泵产生的压力越大;微泵内流体的密度与速度大小无直接关系;流道的横截面积越小,速度越大;速度对迹线的影响不大。

无阀微泵原理新颖，但压电式无阀微泵工艺复杂。介电弹性体是具有大变形的智能材料，采用图像处理的方法对其变形特性做了测试，并利用其特殊性能研制了介电弹性体无阀微泵。从流道设计、尺寸、流量和效率3个方面研究了介电弹性体无阀微泵，得到流量为142.12mL/min，效率为0.738的介电弹性体无阀微泵。其特点是原理新颖、结构简单、流量和效率理想。