连续回转电液伺服马达的内泄漏可提高系统的阻尼比，但降低了系统的刚度及在低速运行时的抗干扰能力，内泄漏越大，摩擦干扰表现得越明显，导致马达在低速运行时出现低速脉动现象。为了改善连续回转电液伺服马达的超低速性能，分析了产生内泄漏的原因及其对低速性能的影响，建立了连续回转马达位置伺服系统的数学模型，通过泄漏实验研究，得到了在不同压差下，泄漏量及泄漏系数的变化规律，并通过摩擦和泄漏综合补偿的复合控制，改善了连续回转电液伺服马达的低速性能。