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离子探针铟靶制备设备的开发与研制
作者:
李娇
李秋立
刘宇
唐国强
来源:
机械设计与制造工程
日期: 2021-01-17
人气:143
针对变质锆石增生边的离子探针地质年代学测试问题,设计研制了一种离子探针铟靶压平仪。该设备可以使锆石不经过抛磨就能直接平整地固定于铟靶中,从而将离子探针的分辨率从横向上大于5μm提高到纵向上1μm,解决变质锆石狭窄增生边的分析难题。
关键词:
铟靶
平整性
仪器开发
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