文章针对自主研制的三维微纳米测量探头存在的三轴耦合问题,分析了耦合误差产生的原因,研究了基于支持向量回归机(support vector regression,SVR)中ν-SVR算法的解耦方法,并利用Libsvm软件实现了该方法,得出了解耦模型;采用探头的同一组实测数据,将SVR解耦得到的模型误差与常用的多元线性回归、泰勒展开式、神经网络3种解耦方法的模型误差进行了比较。结果表明,用SVR解耦方法得到的探头三维方向的模型误差平方和明显较小,该方法能够显著提高三维测量探头的测量精度。