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激光三角法改进的显微镜快速自动对焦方法

作者: 张小波 范富明 程良伦 来源:红外与激光工程 日期: 2024-01-31 人气:1
激光三角法改进的显微镜快速自动对焦方法
为了满足TFT-LCD显微镜光学检测系统在工业上的需求,基于激光三角测距法提出一种改进的显微镜快速自动对焦方式,并建立了光路数学模型。 该方法在可见光光路中加入一路 808 nm 波长的激光,激光光束在被检测物体表面反射后经过一系列光学器件投射在 CCD 相机上形成一个半圆光斑。 以对焦完成时 CCD 上的光斑半径最小为基准,给出了离焦量与光斑信息探测量之间的数学模型关系,实时控制 PZT 进行自动调焦。 根据给定的数学模型,利用高斯曲线拟合对光斑中心进行定位并计算离焦量,实现对实时控制压电陶瓷的自动对焦。 在 50 倍物镜下的实验结果表明:实际测量值与理论值有很好的线性度,在±30 滋m 的对焦平面上对焦重复定位精度可达到 0.2 滋m,对焦时间在0.26 s。 与传统的显微镜对焦方法相比,该方法有较高的精度、较好的线性度和更高速等

一种多结构光条纹亚像素中心提取方法

作者: 贾卫平 王邦国 来源:机械工程师 日期: 2020-09-10 人气:171
在使用结构光方法进行工件或物体的三维信息快速测量中,需要对工件或物体投射多条结构光条纹,快速准确地提取各投射光条的中心是实现精确检测的关键问题之一。文中提出了一种多结构光条纹亚像素中心提取方法,首先扫描整个图像确定光条数目;接着提取各光条的边缘坐标信息;最后利用高斯拟合求取各光线条纹的亚像素中心。实验表明,该方法能有效识别多结构光条纹并提取其亚像素中心。
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