采用超声相控阵对20钢试样横通孔缺陷深度进行了无损检测试验,分别研究了探头激发晶片数为4、8、16三种情况下,声束聚焦深度为6.35 mm、12.70 mm、19.05 mm、25.40 mm、31.75 mm、38.10 mm的缺陷深度检测精度。结果表明：近表面孔1、2受超声检测盲区的影响,检测精度低;孔1、2在激发晶片数为16时受近场区内声压波动的影响检测精度波动大,近场区外聚焦深度与缺陷深度相近时检测精度高;超声检测盲区和近场区外,检测精度随探头激发晶片数的增加而提高。通过对缺陷深度检测精度的比较,分析了检测精度的影响因素,为超声相控阵缺陷检测方法的选择和检测精度的提高提供了依据。