超声导波在构件中传播具有多种模式的特征，给导波无损检测信号分析及其应用带来一定难度，通过导波传感器的合理设置实现导波模式的可控具有重要的实用意义。系统综述了国外基于磁致伸缩效应的导波传感器模式控制技术，详细介绍了纵向导波、扭转导波、弯曲导波三种模态传感器的设置。通过比较可得，磁致伸缩传感器中偏置磁场和交变磁场方向和大小设置决定了所激励出的导波模式。

采用模式控制对能动光学系统的有效运行是十分重要的。针对1.2m能动镜,对常见的泽尼克模式、主镜的自由振荡模式和本征模式进行了分析,其中本征模借鉴于薄膜反射镜的模式分析,但尚未见到用于能动主镜的模式控制,从能动镜对各模式的拟合精度以及选用的模式数量与能动镜系统的校正能力的关系考虑,选择离焦、三阶彗差和9阶本征模作为1.2m能动光学系统的校正模式,其中离焦和三阶彗差由次镜的平移和倾斜进行校正,9阶本征模由主镜背面的力驱动器阵列进行校正。

在声波透射与折射基本理论的基础上,设计制作了匹配层压电换能器结构的兆声抛光振子,提高了兆赫频超声抛光工具的声能量辐射效率。此外,通过对兆声压电振子的振动模式进行控制,消除了高频圆片型压电振子本身存在的强烈的耦合振动效应。在制作完成兆声抛光振子的基础上,对抛光振子工作端的振动振幅进行了测试,在横向尺度上满足了兆声抛光工具头振动振幅均匀化的求。实现了一种用于硅片化学机械抛光的兆声抛光振子。为大尺寸硅片的化学机械抛光工艺提供了可借鉴的附加技术手段。