恒温供油系统是超精密加工中的一项环境条件保障技术。本文介绍了系统的组成、工作原理，以及为达到高精密恒温所采取的措施。该系统温控精度达±０．００５℃。

四倍频晶体温度变化0.5℃会导致其效率降低20%,因此必须精确控制其温度。文中利用有限元软件ANSYS分析了一种四倍频晶体温控箱的温度场,计算了其大温差调节时温度场的变化过程,模拟了晶体瞬时温度波动的调节过程,并分析了水温波动对晶体框组件温度场的影响。分析结果表明温控箱能达到控温精度要求。