针对平台所用的永磁同步伺服电动机，推导出永磁同步伺服电动机的数学模型，建立支路控制系统数学模型，并求出传递函数，针对超声-电火花复合加工的特点提出RBF神经网络PID控制算法。通过Matlab仿真结果对比，得出结论，与传统PID控制算法相比，RBF神经网络PID控制算法可以减少加工平台的调节时间、超调量，并且增加控制系统的抗干扰性。