针对光学加工中较难去除的中频误差分量，介绍了目前欧洲望远镜系统在加工工艺方面的探索性成果。在理论分析的基础上，利用坐标变换的方法对主镜抛光过程中刀具相对镜片的不匹配量进行了建模和仿真，并分析了刀具尺寸、刀具相对镜片的位置以及进给量等关键参数的选取对不匹配量的影响情况。

针对弹性薄板气浮垫的精密研抛工艺要求，主要设计和改造了现有精密研磨抛光机的加载方式。为了能够实现弹性薄板气浮垫边充气边研磨抛光加工，针对弹性气浮垫的特有结构，提出一种端面气膜密封的旋转密封件以及分气站的设计方案。精密研磨抛光机的改造设计可以实现弹性薄板气浮垫在研磨抛光设备上自动研磨抛光。