渐开线齿轮和单泵供油技术难以满足微型齿轮泵高均匀介质和低损耗的工作要求。Logix齿轮根切倾向小、易于设计成少齿数。双泵合流技术可实现流量补偿并降低流量脉动。设计了一种基于Logix齿形的三齿轮微泵结构，三齿轮泵排量仿真结果表明，基于Losix齿形的三齿轮微泵较二齿轮泵的流量脉动性能好，三齿轮泵的排量比二齿轮泵增加1倍，而排量变化幅度只有二齿轮泵的一半。计算确立了Logix齿轮的结构参数，制订了Logix齿轮的微铣削工艺，加工制造了基于Logix齿形的微齿轮泵。

提出一种基于Logix齿轮的多齿轮泵,并讨论其流量特性。Logix齿轮的无根切最少齿数小,容易小型化,适合于齿轮泵的应用。用2个Logix齿轮构成二齿轮泵,则脉动比较大,难以实用化。用3个Logix齿轮依次啮合构成多齿轮泵,位于中间的齿轮作为主动轮,与两侧的从动轮构成2个子泵。通过合适的管道配流,可以使得多齿轮泵的流量增大1倍。多齿轮泵中,主动轮的齿数决定了多齿轮泵的流量脉动状况。主动轮的齿数为偶数情况下,子泵的流量变化情况相同,不能相互补偿,结果脉动与二齿轮泵相同;而主动轮的齿数为奇数情况下,子泵的流量变化能够相互补偿,脉动比二齿轮泵大大减小。