利用压电陶瓷材料的精密位移输出特性和金属橡胶材料的多孔、减压、节流特性设计出了一种超高压精密流量控制阀，来实现超高压、微小流量的精确控制，并得到了该阀的流量表达式。理论分析结果表明，该阀的流量不仅与阀进出口的压差有关，还与压电陶瓷和金属橡胶的参数有关。