高精度非球面具有广泛的、潜在的应用前景,非球面加工中的表面精度测量及补偿控制是制约其加工过程的关键因素.提出了基于CCD成像技术在线动态测量非球面的表面精度,研究了在线动态测量控制的结构方案,建立了基于CCD作为测量环节的计算机控制光学表面成形系统,提出了对表面精度的加工采用宏观形貌和微观形貌分段测量与控制的方法.

随着科技的发展，尖端产品和现代化武器对光学元件质量要求越来越高，非球面光学元件因性能优良而应用越来越广泛，需求越来越迫切，非球面元件面形检测也成为研究者的工作重点，该文着重阐述现有的非球面光学元件面形检测方法，介绍各种方法的检测原理，并给出了各种方法的优缺点。