目前,随着高速高精加工的发展,使得提高机床测量精度已势在必行。针对触发式测头高速测量时发现的滞后时间问题,提出了一种补偿方法。根据高速I-O板卡反馈的时间戳信息,插值计算精确到微秒级的位置值;并缓存触碰前轴的反馈脉冲增量进行补偿。实验发现补偿前随着进给速度增大,位置偏差增大,约0.05~0.35 mm,对应滞后时间为8~10个插补周期;补偿后偏差接近0,对应不到1个周期,从而显著降低了测头测量滞后时间,提高了机床测量精度。