基于微晶玻璃圆孔的高效超精密加工方法,提出了3种圆孔气囊抛光方式并综合分析其优缺点,最终确定三棱柱型气囊抛光头作为实验对象,并通过工艺实验分析了抛光工艺因素对表面粗糙度的影响。实验结果表明,该三棱柱型气囊抛光头可以实现微晶玻璃圆孔的高精度表面质量加工,圆孔表面粗糙度值可达到0.0169μm。