为探究新型多取代苯胺类阻蚀剂的缓蚀性能,采用密度泛函理论方法,在MO6-2x/6-311+G基组与水平上,计算了17种已知缓蚀率的苯胺衍生物的三类独立的物理化学参数,得到了单取代苯胺衍生物的胺基氮原子电荷,苯胺衍生物分子信息熵以及与氮原子及铁原子的受-授结合能。结果显示,胺基N原子的静电势电荷,分子的信息熵以及受-授结合能均直接影响这些化合物的缓蚀效率(EI),所建立的三元线性回归模型其相关系数R2=0.9976,预测值与实验值的相对平均误差RSD=2.15%。根据构建的模型,设计出了10种多取代苯胺类分子,其中8个分子的EI可有显著提高(EI>70%)。