定容法标准漏孔校准中器壁吸气及规管抽气会产生-(30%～40%)误差.本文提出用氮气清洗器壁以减少其吸放气速率,并以氮气代替空气校准;不扣除本底压强上升速率;规管与校准容器间加装一只阀门以减少规管抽气对校准的影响等办法来减少误差.

定容式气体微流量标准装置采用定容法工作原理，用于校准热容式质量流量计，测量范围为１×１０＾－３～１０Ｐａ·ｍ＾３·ｓ＾－１，不确定度（１σ）小于１．２０％。主要分析了标准装置的不确定度。

为了实现在工作现场对氦质谱检漏仪进行全量程漏率示值的校准,设计了一套便携式气体微流量计。该流量计由供气与抽气系统、定容室与压力测量系统、流量测量系统和烘烤系统等四部分组成,采用固定流导法及定容法两种模式提供和测量流量。在流量计的设计中,解决了小孔流导的设计和计算、定容室和抽气系统的小型化设计、应用选择性抽气技术延伸流量测量下限等关键技术,同时还采用了分体式结构设计,使流量计具有便于拆卸及携带,操作简单等优点。流量计预计达到的技术指标是,测量范围（：10-4～10-11）Pa.m3/s,标准不确定度小于10%。