无线传感器网络的WiME系统路由设计
机器人导航面临的一个基本问题是路径规划;在无线传感器网络中,无线节点之间的信息通信路由是一个首要问题。WiME是一个由生物行为启发的,基于无线传感器网络实现的室内机器人导航系统,也同时要解决两个路由问题。本设计采用单步方向的方式实现全局地理路径信息的存储和查询,可同时用于无线通信路由,使得在资源受限、计算能力弱的无线传感器节点上实现大数据量信息的分布式存储成为可能;另外,采用计数型Bloom Filter对路由信息进行压缩存储,可同时实现路由信息的动态修改。
显影单元腔室内流场结构分析与优化
匀胶显影设备中温湿度控制器(THS)为单元提供温度和湿度适宜的洁净空气,为保证单元内产生的颗粒不污染晶片,在单元中将空气流动设计成DownFlow形式,这样能带走单元腔室中的灰尘颗粒,有利于防止晶片的颗粒污染。由于显影单元的内部结构复杂,无法直接测量单元内部实际工作条件下的气流状态。文中采用数值模拟分析的方法对显影单元内部进行流场仿真分析,根据分析结果对结构进行优化,以达到更理想的腔室内气体流动状态,可以节约修改结构和复杂测试所消耗的时间和成本,缩短设计周期。
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