扫描探针显微技术应用越来越广泛,其探针制备技术也不断得到开发.从探针结构的改进和探针功能的扩展等方面对近几年来探针制备技术的相关发展进行了阐述,探讨了SPM技术的拓展和新应用,同时也讨论各种制备方法的特点和适用条件.